Vakuumtechnik für den Reinraum

Die Produkte von Schmalz können in fast jeder Reinraumklasse eingesetzt werden. Gemeinsam mit hochrangigen Instituten wurden die Produkte von Schmalz getestet und zertifiziert. Diese Zertifizierung basiert auf verschiedenen Vorschriften und offiziellen Normen.

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Die für den Einsatz im Reinraum zertifizierten Komponenten beinhalten verschiedene Produkte aus dem breiten Portfolio der Vakuumtechnologie. So kann eine Vielzahl unterschiedlicher Prozessanforderungen erfüllt werden. Durch die Testergebnisse wird deutlich, dass die meisten Produkte ohne zusätzliche Maßnahmen in sehr reinen Arbeitsumgebungen (bis zu Klasse 1 nach DIN EN ISO 14644-1) eingesetzt werden können.

Bei der Auswahl eines Produktes ist es essentiell dessen tatsächlichen Einsatzort im Reinraum genau zu betrachten und so die Anforderungen richtig zu interpretieren. Beispielsweise müssen in einem reinen Bereich mit laminarer Luftströmung nicht alle Stellen die angestrebte ISO-Klasse erfüllen. Aufgrund der geradlinigen vertikalen Strömung haben Partikelemissionsquellen räumlich unter dem Werkstück oder in einiger Entfernung in der Regel nur einen geringen Einfluss auf das Werkstück.

Beispielhafte Darstellung der Reinraumtauglichkeitsanforderung von Equipment entsprechend der Einsatzstelle im Reinraum der ISO Klasse 3


In einem Reinraum werden mithilfe verschiedener Maßnahmen (Lüftungstechnik, Bekleidung der Mitarbeiter, Auswahl an Materialien und Betriebsmitteln, …) die luftgetragenen Partikel kontrolliert, sodass eine festgelegte Grenze nicht überschritten wird. Dies dient der Erfüllung verschiedener Schutzziele. Je nach Anwendungsbereich geht es dabei um den Schutz von Produkten, bzw. Prozessen (Produktschutz) oder um den Schutz des Menschen bzw. der Umwelt (Personalschutz).

Größenordnungsvergleich möglicher Luftgetragener Partikel:

  Ionen Moleküle Makromoleküle Mikropartikel Makropartikel
Sichtbar mit Rasterelektronen-Mikroskop (REM) Mikroskop bloßem Auge
Beispiele

Atomradius

Metallionen

Zucker

Herbizide

Ruß

Viren

Tabakrauch

Bakterien

Rote Blutzellen

Pollen

Sand

Menschliches Haar

Nebel

Größe [µm (LOG)] 0,001 0,01 0,1-1,0 10 100-1000

 

 

 

 

Festgelegter Standard zur Definition eines Reinraumes nach Größe und Menge der auftretenden Partikel ist die DIN EN ISO 14644-1. Grundlage hierfür war der US Federal Standard 209E, der lange Zeit international in der Industrie angewandt wurde, jedoch seit November 2001 offiziell nicht mehr gültig ist.

Vergleich der Klassengrenzen der DIN EN ISO 14644-1 und des US Federal Standard 209E:

ISO-Klasse Berechnete Klassengrenze G (Partikel / cft) für bestimmte Partikelgrößenbereiche (gerundete Werte) nach DIN EN ISO 14644-1

 

US Federal Standard 209E

  ≥ 0,1 µm ≥ 0,2 µmv ≥ 0,3 µm ≥ 0,5 µm ≥ 1,0 µm ≥ 5,0 µm  
1 0,3 * * * * * -
2 3 1 * * * * -
3 28 7 3 1 * * 1
4 283 67 29 10 2 * 10
5 2.832 671 289 100 24 1 100
6 28.321 6.712 2.889 997 236 8 1000
7 * * * 9.967 2.356 83 10000
8 * * * 99.674 23.559 830 100000
9 * * * 996.744 235.594 8.298 -

 

Die Abteilung Reinst- und Mikroproduktion des Fraunhofer Instituts für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) in Stuttgart testet unabhängig Equipment und Materialien auf ihre Reinheits- und Reinraumtauglichkeit. Diese Untersuchungen werden in einem Reinraum durchgeführt, der 10-fach sauberer ist, als die Klasse 1 nach DIN EN ISO 14644-1. Als Resultat werden die Anlagen und / oder Materialien mit einem TESTED DEVICE® oder CSM® Prüfzeichen zertifiziert. Bei dieser Arbeit greift das Institut auf über 30 Jahre Erfahrung und Know-How im Bereich Reinheits- und Reinraumtauglichkeit zurück.

Die Produkte von Schmalz können in fast jeder Reinraumklasse eingesetzt werden. Gemeinsam mit hochrangigen Instituten wurde das Produkt von Schmalz getestet und zertifiziert. Diese Zertifizierung basiert auf verschiedenen Vorschriften und offiziellen Normen.

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