Productos para la fabricación de obleas

Técnica de vacío para la fabricación de obleas

Las obleas se fabrican a partir de piezas brutas de silicio monocristalinas o policristalinas. Los así llamados Ingots se cortan con alambre de sierra en lunas de 160 µm de grosor. Seguidamente, las obleas se limpian en distintas cubetas con un proceso de química húmeda, se separan y se preparan para procesarlas y convertirlas en células.

Las garras de Schmalz se utilizan en los pasos de proceso individuales para apilar, almacenar transitoriamente, fijar o posicionar las obleas. Durante la manipulación realizan tiempos de ciclo de menos de un segundo y reducen al mismo tiempo las tasas de fracturas.

Requisitos que debe cumplir la técnica de vacío

Elevadas cantidades producidas
La fabricación de obleas exige tiempos de ciclo de menos de un segundo. Por motivo de las altas aceleraciones, la garra debe disponer de elevadas fuerzas de retención y laterales. La garra para obleas SWGm se encarga ya durante la manipulación de tareas de control y comprobación mediante sistemas de sensores de integración opcional.

Tasas de fracturas bajas
La tasa de fracturas influye notablemente en la cantidad producida, por ello la manipulación de las obleas debe ser especialmente cuidadosa. La garra para obleas SWGm de Schmalz se distingue especialmente por su mínima tasa de fracturas en comparación con otras tecnologías de manipulación. Gracias a su gran superficie de contacto y a la reducida depresión, la garra para obleas genera sólo una presión superficial mínima, siendo por ello especialmente suave con las piezas.

Manipulación libre de contaminación
En todos los procesos de la cadena de fabricación, se debe evitar la contaminación de las superficies de las obleas. Con su superficie de contacto del material PEEK, que no provoca contaminación, la garra para obleas SWGm es la solución perfecta. Además, en la fabricación de las obleas se pueden utilizar ventosas del material bajo en huellas HT1.

Separación de las obleas
La separación de las obleas supone un gran desafío para la tecnología de agarre. La ventosa flotante SBS genera un elevado flujo que se utiliza para realizar una mayor altura de resalto de las obleas y las células para la separación. Con los módulos de ventosas flotantes que se pueden integrar en las garras para obleas SWGm se pueden combinar las ventajas de la garra para obleas con la altura de resalto de las ventosas flotantes.

Manipulación de obleas en aplicaciones de banco húmedo
La garra para obleas SWGm wet se ha desarrollado especialmente para la manipulación de obleas húmedas. Los posicionamiento y dimensionamiento especiales de los puntos de succión permite reubicar de forma segura obleas en procesos de cauterización y limpieza sin tener que secar la superficie.

Contacto

Schmalz Inc.
5850 Oak Forest Drive
Raleigh NC 27616
Estados Unidos de América

Tel. +1 919 713-0880
Fax +1 919 713-0883
schmalz@schmalz.us
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Productos para la fabricación de obleas

Garras para obleas SWGm

  • Dimensiones: 125 x 125 mm y 156 x 156 mm
  • Modelo básico con escape axial o lateral
  • Material superficie de ventosa: PEEK

Módulo de ventosa flotante SBSm

  • Salto de altura: hasta 12,3 mm
  • Fuerza de retención: 1,3 N

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Ventosas flotantes SBS

  • Diámetro: 20 a 120 mm
  • Fuerza retención: 2,0 a 104,0 N
  • Tampón de elastómero casi sin huellas en la cara inferior de la ventosa

Ventosas planas SGPN

  • Diámetro: 15 a 40 mm
  • Material: FPM, HT1, NK, SI
  • Ventosa insertada en la boquilla

Ventosas de fuelle FG19

  • Diámetro: 19 mm
  • Material: HT1, NK, SI
  • Ventosa encajada en la boquilla

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Eyectores compactos SCPi Solar

  • Capacidad de aspiración hasta 145 l/min
  • Máx. vacío 51,5%
  • Función de ahorro de aire y IO-Link integrado

Garras para obleas SWGm Wet

  • Dimensiones: 125 x 125 mm y 156 x 156 mm
  • Modelo básico con aire de salida lateral
  • Material de la superficie de la garra: PEEK