Tyhjiögeneraattorit tarjoavat tarvittavan tyhjiön. Tyhjiö syntyy joko pneumaattisesti (ejektorit) tai sähköisesti (pumput, puhaltimet). Pneumaattiset alipainegeneraattorit saavuttavat lyhyet sykliajat, ja kompaktin ja kevyen rakenteensa ansiosta ne voidaan integroida suoraan järjestelmään. Ejereillä on myös älykkäät toiminnot energian ja prosessin hallintaan. Sähköisiä alipainegeneraattoreita käytetään sovelluksiin, joissa ei ole paineilmaa tai joissa vaaditaan suurta pumppausnopeutta.