Productos para la fabricación de obleas

Technique du vide pour la fabrication de wafers

Les wafers sont conçus à partir de disques polycristallins en silicium. Les 'lingots' (ou barres) de silicium sont sciés en fines couches de 160 µm environ à l’aide d’un fil de sciage. Ensuite, les wafers sont nettoyés en milieu chimique humide dans différents bassins, avant d'être séparés et préparés pour leur traitement en cellules.

Les préhenseurs Schmalz sont utilisés lors de chaque étape de production, afin d’empiler, d’amortir, de fixer ou de positionner les wafers. Lors de ces manipulations, ils parviennent à réaliser des temps de cycle ne dépassant pas une seconde et réduisent simultanément le taux de casse et de perte.

Exigences envers la technique du vide

Grand volume de production
Des temps de cycles de moins d’une seconde sont nécessaires lors de la fabrication de wafers. En raison des accélérations importantes, le préhenseur doit fournir des forces de préhension et des forces latérales élevées. Dans ce but, le préhenseur de cellule photovoltaïque SWGm prend en charge pendant la manipulation les tâches de contrôle et de vérification grâce à des capteurs à intégrer en option.

Taux de casse restreint
Le taux de casse influence considérablement la quantité de production. L’accent est donc nettement mis sur une manipulation la plus soigneuse possible des wafers. Le préhenseur de cellule photovoltaïque SWGm de la marque Schmalz se distingue notamment par un taux de casse minimal en comparaison avec d’autres techniques de manipulation. Grâce à sa grande surface de contact et à sa dépression réduite, le préhenseur de cellule photovoltaïque n’engendre qu’une pression de surface minimale, ce qui permet un traitement particulièrement délicat.

Manipulation exempte de contamination
Il convient d’éviter toutes surfaces contaminées de wafers lors des processus de la chaîne de fabrication. Le préhenseur de cellule photovoltaïque SWGm, avec sa surface de contact en matériau PEEK exempt de contamination, est la solution optimale. En outre, il est possible d’utiliser des ventouses en matériau HT1, qui laisse peu de marques, lors de la production de wafers.

Séparation des wafers
La séparation de wafers représente un énorme défi pour la technologie de préhension. La ventouse à coussin d’air SBS génère un volume de flux important. Celui-ci est utilisé afin de réaliser une hauteur de saut plus élevée lors de la séparation des wafers et des cellules. À l’aide des modules de ventouses à coussin d’air SBSm, qui peuvent être intégrés en option dans le préhenseur de cellule photovoltaïque, les avantages de ce dernier peuvent être combinés avec la hauteur de saut des ventouses à coussin d’air.

Manipulation de wafers dans des applications de traitement humide
Le préhenseur de cellule photovoltaïque SWGm Wet est développé spécialement pour la manipulation de wafers humides. Le positionnement spécifique et les dimensions des points d’aspiration permettent de traiter de manière fiable des wafers humides au cours de processus de gravure et de nettoyage, sans sécher leur surface.

Contact

Schmalz Inc.
5850 Oak Forest Drive
Raleigh NC 27616
États-Unis d'Amérique

Tel. +1 919 713-0880
Fax +1 919 713-0883
schmalz@schmalz.us
Carte de visite

Produits pour la fabrication de les wafers

Préhenseurs de cellules photovoltaïques SWGm

  • Dimensions : 125 x 125 mm et 156 x 156 mm
  • Modèle de base avec évacuation de l'air axiale ou latérale
  • Matière surface de ventouse : PEEK

Module de ventouse à coussin d'air SBSm

  • Hauteur de saut: jusqu'à 12,3 mm
  • Force de préhension: 1,3 N

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Ventouses à coussin d'air SBS

  • Diamètre : 20 à 120 mm
  • Force de prise : 2,0 à 104,0 N
  • Tampon élastomère laissant peu d'empreintes sur la face inférieure de la ventouse

Ventouses plates SGPN

  • Diamètre : 15 à 40 mm
  • Matière : FPM, HT1, NK, SI
  • L'insert est enfiché dans la ventouse

Ventouses à soufflets FG19

  • Diamètre : 19 mm
  • Matière : HT1, NK, SI
  • L'insert est enfiché dans la ventouse

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Ejecteurs compacts SCPi Solar

  • Capacité d'aspiration jusqu'à 145 l/min
  • Vide max. 51,5%
  • Fonction d’économie de l’air et IO-Link intégrée

 

 

Préhenseurs de cellules photovoltaïques SWGm Wet

  • Dimensions : 125 x 125 mm et 156 x 156 mm
  • Modèle de base avec échappement latéral de l'air
  • Matériau de la surface de ventouse : PEEK