Leckage
Leckage bezeichnet eine Undichtigkeit innerhalb des Vakuum-Systems. Diese kann durch fehlende oder fehlerhafte Dichtelemente oder auch durch die Porosität des zu handhabenden Werkstücks entstehen.
Leckage bezeichnet eine Undichtigkeit innerhalb des Vakuum-Systems. Diese kann durch fehlende oder fehlerhafte Dichtelemente oder auch durch die Porosität des zu handhabenden Werkstücks entstehen.