Vakum jeneratörleri gerekli vakumu sağlar. Vakum, pnömatik (ejektörler) veya elektriksel (pompalar, blowerlar) olarak üretilir. Pnömatik vakum jeneratörleri kısa çevrim süreleri sağlar ve kompakt ve hafif tasarımları sayesinde doğrudan sisteme entegre edilebilir. Ejektörler ayrıca enerji ve proses kontrolü için akıllı fonksiyonlara sahiptir. Elektrikli vakum jeneratörleri, basınçlı havanın bulunmadığı veya yüksek pompalama hızının gerekli olduğu uygulamalar için kullanılır.