Garras para obleas SWGm Wet
Los puntos de succión especialmente posicionados y dimensionados permiten una manipulación segura de las obleas húmedas
Manipulación extremadamente rápida y precisa gracias a su baja altura y peso
La alta capacidad de aspiración permite un agarre seguro incluso con ocupación parcial o fugas, por ejemplo, con obleas perforadas
La descarga controlada del aire de admisión evita la contaminación del área de proceso
La función de liberación rápida permite el posicionamiento preciso de las obleas
Diseño
Diseño
- El modelo básico se puede elegir con escape del aire aspirado (3) axial (A) o lateral (S)
- Geometrías de superficies de ventosas a elegir para tamaños de células convencionales de 125 mm y de 156 mm
- Componente opcional para escape del aire aspirado (II) controlado
- Diseño modular con accesorios para el montaje de sensores y módulos de aspiración/amortiguación (I), así como una elección de módulos de brida (III)
- Altura mínima gracias a su construcción de plástico de peso reducido
- Superficies de contacto reemplazables
Datos técnicos
Datos técnicos
- Dimensiones: 115 x 115 mm y 146 x 146 mm
- Modelo básico con aire de salida lateral
- Material de la superficie de ventosa: PEEK
Documentación
Documentación
La documentación correspondiente a este producto está disponible en esta sección.
| Documentos | Idioma |
|---|---|
| Español |
La documentación también está disponible completamente en inglés.
| Documentos | Idioma |
|---|---|
| Inglés |