Wafergreifer SWGm

Zwei Saugflächen passend für Wafergröße 115 x 115 mm und 146 x 146 mm

Schnell und positionsgenau, mit Taktzeiten unter einer Sekunde dank geringer Bauhöhe und Gewicht

Optimale Verteilung und Dimensionierung der Saugstellen reduziert Bruchrate

Hohes Saugvermögen erlaubt sicheres Greifen auch bei Teilbelegung oder Leckage z. B. bei perforierten Wafern

Aufbau

Grundmodell mit axialer (A) oder seitlicher (S) Führung der Abluft (3)
Saugflächengeometrien für gängige Zellgrößen 125 mm und 156 mm wählbar
Optionale Komponente zur kontrollierten Abluftführung (II)
Modularer Aufbau mit umfangreichem Zubehör für die Montage von Sensoren und Saug-/Dämpfungsmodulen (I) sowie der Auswahl an Flanschmodulen (III)
Minimale Bauhöhe durch gewichtsreduzierte Kunststoffbauweise

Technische Daten

Leistungsdaten

MetrischImperial

Dokumentation

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Art-Nr.: 10.01.30.00135

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