Automatisiertes Handling von PV-Wafern mit dem SWG Wafergreifer

Die individuellen Zellen werden mit Inspektionssystemen vor, zwischen und nach den einzelnen Fertigungsschritten zu 100% vermessen und auf Schädigungen wie Randeinbrüche oder Mikrostrukturschäden untersucht. Aufgrund der hohen Durchsatzraten von bis zu 3.600 Wafern/h und der resultierenden Taktzeiten von ca. 1 Sekunde sind höchste Geschwindigkeiten und Beschleunigungen erforderlich. Dabei dürfen weder Positionier- und Meßgenauigkeit beeinträchtigt noch Waferschädigungen hervorgerufen werden. Der Schmalz Wafergreifer SWG wird hier sowohl bei der Vereinzelung der Wafer aus dem Stapel, bei der Positionierung während der Messung, als auch bei der Sortierung in bis zu 72 Klassen in Abhängigkeit von den Messergebnissen verwendet. Der Wafergreifer vereint höchste Präzision, minimale Schädigung, Kontaminationsfreiheit, geringen Luftverbrauch und schlupffreie Bewegung der Wafer bis zu 10g.

Im Dauereinsatz der Inspektionsanlagen bei renommierten Zellherstellern in Europa und Asien zeigte sich, dass durch den Einsatz des Schmalz Wafergreifers SWG in der Zellfertigung eine Durchsatzerhöhung und Bruchratenverringerung mit höchster Zuverlässigkeit bei der Handhabung vereinbar sind.